硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行) (SJ 1551-1979) 由中华人民共和国第四机械工业部发布。
此标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的净杂质浓度，通过净杂质浓度与电阻率的关系曲线，可求得电阻率。
SJ 1551-1979 硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行)
标准号
SJ 1551-1979
下载格式
PDF
发布日期
1980-03-01
实施日期
1980-06-01
标准类别
行业标准
硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行) (SJ 1551-1979) 由中华人民共和国第四机械工业部发布。
此标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的净杂质浓度，通过净杂质浓度与电阻率的关系曲线，可求得电阻率。
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