硅外延片检测方法 (SJ 1550-1979) 由中华人民共和国第四机械工业部发布。
此标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的检测方法。其检测项目有外延层电阻率、外延层厚度、层错密度、位错密度、夹层和表面缺陷等
SJ 1550-1979 硅外延片检测方法
标准号
SJ 1550-1979
下载格式
PDF
发布日期
1980-03-01
实施日期
1980-06-01
标准类别
行业标准
硅外延片检测方法 (SJ 1550-1979) 由中华人民共和国第四机械工业部发布。
此标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的检测方法。其检测项目有外延层电阻率、外延层厚度、层错密度、位错密度、夹层和表面缺陷等
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