200mm硅外延片 (GB/T 35310-2017) 国家标准《200mm硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院。
起草人：马林宝 、骆红 、杨帆 、金龙 、杨素心 。
此标准规定了直径200mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。
此标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。