硅外延片 (GB/T 14139-1993) 国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 14139-2009（全部代替）
起草单位：上海第二冶炼厂。
GB/T 14139-1993 硅外延片
标准号
GB/T 14139-1993
下载格式
PDF
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
标准类别
国家标准
硅外延片 (GB/T 14139-1993) 国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 14139-2009（全部代替）
起草单位：上海第二冶炼厂。
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