硅外延片 (GB/T 14139-2009) 国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 14139-2019（全部代替）
起草单位：宁波立立电子股份有限公司。
起草人：许峰 、刘培东 、李慎重 、谌攀 。
u3000u3000此标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。 u3000u3000此标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层（N/N＋）和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层（P/P＋）的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。