硅外延片 (GB/T 14139-2019) 国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司。
起草人：张海英 、李慎重 、蒋玉龙 、骆红 、胡金枝 、卢立延 、李素青 。
此标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明
书和订货单（或合同）内容。
此标准适用于在直径不大于150mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。