硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法 (GB/T 42263-2022) 国家标准《硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司。
起草人：马农农 、何友琴 、李素青 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 。
此标准描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
此标准适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。