硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法 (GB/T 24574-2009) 国家标准《硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
起草人：李静 、何秀坤 、蔺娴 。
此标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。 此标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。 此标准用于检测单晶硅中含量为1×1011at·cm-3~5×1015at·cm-3的各种电活性杂质元素。