硅单晶 (GB/T 12962-2015) 国家标准《硅单晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:有研新材料股份有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、浙江中晶科技股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、杭州海纳半导体有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所、广东泰卓光电科技股份有限公司。
起草人:孙燕 、张果虎 、张雪囡 、黄笑容 、楼春兰 、王飞尧 、朱兴萍 、何良恩 、徐新华 、杨素心 、由佰玲 、李丽妍 。
此标准规定了硅单晶的牌号及分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。此标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括中子变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200mm的硅单晶。产品主要用于制作半导体元器件。