GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法

碳化硅单晶片直径测试方法 (GB/T 30866-2014) 国家标准《碳化硅单晶片直径测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院。

起草人：丁丽 、周智慧 、蔺娴 、郝建民等 。

此标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。此标准适用于碳化硅单晶片直径的量。