碳化硅单晶抛光片 (GB/T 30656-2014) 国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 30656-2023（全部代替）
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。
起草人：陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 、刘春俊 、刘振洲 。
此标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单（或合同）内容。此标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。