当前位置:首页 > 标准 > 国家标准 > 内容详情

GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢

标准号
GB/T 14602-2014
下载格式
PDF
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
标准类别
国家标准
免费下载
简介

电子工业用气体 氯化氢 (GB/T 14602-2014) 国家标准《电子工业用气体 氯化氢》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司。

起草人:张吉瑞 、孙福楠 、杜汉盛 、方华 、周鹏云 、杨任 。

此标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。此标准适用于以工业化氢为原料,采用纯化制得的化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HC1。相对分子质量:36.458(按2009年国际相对原子质量计算)。

声明:资源收集自网络无法详细核验或存在错误,仅为个人学习参考使用,如侵犯您的权益,请联系我们处理。

不能下载?报告错误