电子工业用气体 高纯氯 (GB/T 18994-2014) 国家标准《电子工业用气体 高纯氯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体（荆州）有限公司、上海仪盟科技有限公司。
起草人：周鹏云 、常侠 、廖恒易 、方华 、刘新明 、汪正宏等 。
此标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。 此标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70.90（按2009年国际相对原子质量计算）。