电子工业用气体 砷化氢 (GB/T 26250-2010) 国家标准《电子工业用气体 砷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院。
起草人：孙福楠 、方华 、周鹏云 、庄鸿涛等 。
此标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。此标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。分子式：AsH3。相对分子质量：77．945 42(按2007年国际相对原子质量计算)。