电子工业用气体 磷化氢 (GB/T 14851-2009) 国家标准《电子工业用气体 磷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院。
起草人：周泽义 、孙福楠 、周鹏云 。
u3000u3000此标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。