电子工业用气体 三氟化硼 (GB/T 14603-2009) 国家标准《电子工业用气体 三氟化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院。
起草人：邓建平 、倪志强 、孙福楠 、周鹏云 。
u3000u3000此标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 u3000u3000此标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。