电子工业用气体 氧 (GB/T 14604-2009) 国家标准《电子工业用气体 氧》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。
起草人：周泽义 、周鹏云 。
u3000u3000此标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。