电子工业用气体 硅烷（SiH4） (GB/T 15909-2009) 国家标准《电子工业用气体 硅烷（SiH4）》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 15909-2017（全部代替）
起草单位：浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。
起草人：余京松 、周鹏云 。
u3000u3000此标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。 u3000u3000此标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。