电子工业用气体 六氟化硫 (GB/T 18867-2002) 国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 18867-2014（全部代替）
起草单位：中核红华特种气体股份有限公司。
此标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。此标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。