GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦

电子工业用气体 氦 (GB/T 16943-1997) 国家标准《电子工业用气体 氦》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 16943-2009（全部代替）

起草单位：化学工业部西南化工研究院。