GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷（SiH4）

电子工业用气体 硅烷（SiH4） (GB/T 15909-1995) 国家标准《电子工业用气体 硅烷（SiH4）》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 15909-2009（全部代替）

起草单位：化工部西南化工研究院。