电子工业用气体 三氟化氮 (GB/T 21287-2007) 国家标准《电子工业用气体 三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 21287-2021（全部代替）
起草单位：核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院。
起草人：王少楠 、余启富 、宋再卿 、刘新明等 。
此标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。此标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。分子式：NF。分子量：71.001 9（按2001年国际相对原子量）