电子工业用气体 高纯氯 (GB/T 18994-2003) 国家标准《电子工业用气体 高纯氯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 18994-2014（全部代替）
起草单位：光明化工研究设计院。
此标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。此标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。分子式：Cl2。相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。101．3 kPa下的沸点：一34．O5℃。101．3 kPa下的熔点：一l01．0。C。101．3 kPa及20℃下气体的密度：2．980 k9／m3。