电子工业用气体 氦 (GB/T 16943-2009) 国家标准《电子工业用气体 氦》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：西南油气田分公司成都天然气化工总厂、北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。
起草人：刘泽军 、付永成 、赵俊秀 、周鹏云 。
u3000u3000此标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。