电子工业用气体 氢 (GB/T 16942-2009) 国家标准《电子工业用气体 氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。
起草人：周泽义 、周鹏云 。
u3000u3000此标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。