硅片直径测量方法 (GB/T 14140-2009) 国家标准《硅片直径测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：洛阳单晶硅有限责任公司。
起草人：刘玉芹 、蒋建国 、张静雯 、冯校亮 。
u3000u3000此标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 u3000u3000此标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为Φ300mm。此标准不适用于测量硅片的不圆度。