GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法

硅片直径测量方法 千分尺法 (GB/T 14140.2-1993) 国家标准《硅片直径测量方法 千分尺法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 14140-2009（全部代替）

起草单位：洛阳单晶硅厂。