硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 (GB/T 14141-1993) 国家标准《硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 14141-2009(全部代替)
起草单位:峨眉半导体材料研究所。
硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 (GB/T 14141-1993) 国家标准《硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 14141-2009(全部代替)
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