GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 (GB/T 14141-1993) 国家标准《硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 14141-2009（全部代替）

起草单位：峨眉半导体材料研究所。