GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法 (GB/T 14144-1993) 国家标准《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 14144-2009（全部代替）

起草单位：中科院上海冶金研究所。