GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法

硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法 (GB/T 14145-1993) 国家标准《硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：上海有色金属研究所。