GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法

硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 (GB/T 14146-1993) 国家标准《硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 14146-2009（全部代替）

起草单位：上海市有色金属总公司。