电子工业用气体 三氯化硼 (GB/T 17874-2010) 国家标准《电子工业用气体 三氯化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 17874-2021（全部代替）
起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院。
起草人：孙福楠 、方华 、庄鸿涛 、周鹏云 。
此标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。此标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。分子式：BCl3相对分子质量：117．1691(按2007年国际相对原子质量计算)。