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GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢

标准号
GB/T 26249-2010
下载格式
PDF
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
标准类别
国家标准
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简介

电子工业用气体 硒化氢 (GB/T 26249-2010) 国家标准《电子工业用气体 硒化氢》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河北保定市北方特种气体有限公司。

起草人:周泽义 、方华 、庄鸿涛 、李建浩等 。

此标准规定了硒化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。此标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。分子式:H2Se。相对分子质量:8o.975 88(按2007年国际相对原子质量计算)。

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