GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法

硅抛光片表面质量目测检验方法 (GB/T 6624-2009) 国家标准《硅抛光片表面质量目测检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：上海合晶硅材料有限公司。

起草人：徐新华 、王珍 。

u3000u3000此标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。 u3000u3000此标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。