GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 (GB/T 4058-1995) 国家标准《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 4058-2009（全部代替）

起草单位：峨嵋半导体材料厂。