GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法

硅抛光片表面平整度测试方法 (GB/T 6621-1995) 国家标准《硅抛光片表面平整度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 6621-2009（全部代替）

起草单位：上海第二冶炼厂。