硅抛光片表面颗粒测试方法 (GB/T 19921-2005) 国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。已被标准 GB/T 19921-2018（全部代替）
起草单位：北京有色金属研究总院。
此标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。此标准适用于硅抛光片，也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片（如化合物抛光片）。此标准也可适用于观测硅抛光片表面的划痕、橘皮、凹坑、波纹等缺陷，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时的初始设置有关。注：此标准涉及的方法通常选用波长(48~6 33)nm的激光光源，最常用的是488nm的氩离子激光器；目前可测量的最小值颗粒直径为0.06μm或更小些。