GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 (GB/T 17169-1997) 国家标准《硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：南开大学、天津市半导体材料厂。