硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 (GB/T 14146-2009) 国家标准《硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 14146-2021（全部代替）
起草单位：南京国盛电子有限公司、宁波立立电子股份有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心。
起草人：马林宝 、唐有青 、刘培东 、李静 、金龙 、吕立平 。
此标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容－电压测量方法。 u3000u3000此标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。