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GB/T 14863-1993 用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法

标准号
GB/T 14863-1993
下载格式
PDF
发布日期
1993-12-30
实施日期
1994-10-01
标准类别
国家标准
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简介

用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法 (GB/T 14863-1993) 国家标准《用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法》由339-1(工业和信息化部(电子))归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。已被标准 GB/T 14863-2013(全部代替)

起草单位:机械电子工业部46所和4所。

此标准规定了用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流了浓度的原理、仪器与材料、样品制备、测量步骤和数据处理。此标准适用于外延层厚度不小于某一最小厚度值(见附录B)的相同或相反导电类型衬底上的n型或p型外延层,也适用于体材料。

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