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GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

标准号
GB/T 1557-2018
下载格式
PDF
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-06-01
标准类别
国家标准
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简介

硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 (GB/T 1557-2018) 国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:新特能源股份有限公司、有研半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。

起草人:银波 、夏进京 、邱艳梅 、刘国霞 、柴欢 、赵晶晶 、刘文明 、姚利忠 、王海礼 、邓浩 、高明 、郑连基 、陈赫 、石宇 、杨旭 、肖宗杰 。

此标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。

此标准适用于室温电阻率大于0.1cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时,氧含量(原子数)测试范围从1X1016cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度;以低温红外设备测试时,氧含量(原子数)的测试范围从0.5X1015cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。

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