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GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

标准号
GB/T 1557-2006
下载格式
PDF
发布日期
2006-07-18
实施日期
2006-11-01
标准类别
国家标准
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简介

硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 (GB/T 1557-2006) 国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。已被标准 GB/T 1557-2018(全部代替)

起草单位:峨眉半导体材料厂。

起草人:梁洪 、覃锐兵 、王炎 。

此标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。此标准适用于室温电阻率大于0.1Ω?cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω?cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。此标准测量氧含量的有效范围从1×10的16次方at/cm3到硅中间隙氧的最大固溶度。

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