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GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

标准号
GB/T 36705-2018
下载格式
PDF
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-06-01
标准类别
国家标准
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简介

氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法 (GB/T 36705-2018) 国家标准《氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。

起草人:郑树楠 、张育民 、石林 、邱永鑫 、王建峰 、徐科 、付雪涛 、杨素心 、丁晓民 、陆敏 、杨建 。

此标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。

此标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围:11017cm-3~11020cm-3。

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