电子工业用气体 六氟化钨 (GB/T 32386-2015) 国家标准《电子工业用气体 六氟化钨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。
起草人：郑秋艳 、江海风 、王占卫 、方兰兰 、林竹光 、王志信 、方华 、杨仁 、周鹏云 。
此标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。此标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式:WF6。分子量:297.830419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。