电子工业用气体 锗烷 (GB/T 31987-2015) 国家标准《电子工业用气体 锗烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院。
起草人：方华 、裴友宏 、郭秀丽 、林宇巍 、陈熔 、周鹏云 。
此标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
此标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式:GeH4。
相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。