电子工业用气体 六氟化硫 (GB/T 18867-2014) 国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。
起草人：黄晓磊 、牛学坤 、赖明贵 、傅涛 、刘长庆 、任清贵等 。
此标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。此标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。