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GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷

标准号
GB/T 31986-2015
下载格式
PDF
发布日期
2015-09-11
实施日期
2016-05-01
标准类别
国家标准
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简介

电子工业用气体 八氟丙烷 (GB/T 31986-2015) 国家标准《电子工业用气体 八氟丙烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、四川中测标物科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。

起草人:林宇巍 、陈熔 、史婉君 、方路 、廖恒易等 。

此标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 此标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。 分子式:C3F8。 相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。

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