硅外延用三氯氢硅 (GB/T 30652-2014) 国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 30652-2023（全部代替）
起草单位：中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司。
起草人：赵立奎 、张莉萍 、谭卫东 、金龙 、刘新军 、郑华荣 。
此标准规定了硅外延用三氯氢硅（SiHC13）的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单（或合同）内容。此标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。