YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 (YS/T 1059-2015) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。

起草单位：中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司等

起草人：刘英杰、郑华荣、柯尊斌等

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。