YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 (YS/T 1060-2015) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。

起草单位：中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

起草人：刘新军、刘英杰、郑华荣等

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。